高級(jí)別電子無(wú)塵車間

當(dāng)今世界，微電子和光電子產(chǎn)業(yè)已成為一個(gè)國(guó)家、一個(gè)地區(qū)國(guó)民經(jīng)濟(jì)和科學(xué)技術(shù)發(fā)展的基礎(chǔ)和平臺(tái)，也是衡量一個(gè)國(guó)家和地區(qū)經(jīng)濟(jì)發(fā)展和科學(xué)技術(shù)水平的重要標(biāo)志。

高級(jí)別潔凈室是指潔凈室的潔凈度高（ISO-2、3、4、5級(jí)），生產(chǎn)環(huán)境溫濕度的精度高，其他一些環(huán)境參數(shù)，例如：靜壓差、靜電、微振、電磁、噪聲、照度等參數(shù)都必須按生產(chǎn)工藝的要求進(jìn)行嚴(yán)格控制的潔凈室。這類面積大、環(huán)境參數(shù)要求高的潔凈室廣泛地應(yīng)用在電子工業(yè)廠房中。

以超大規(guī)模集成電路為代表的微電子產(chǎn)業(yè)，在十年中全世界年平均增長(zhǎng)率高達(dá)15%。2010年全世界微電子產(chǎn)品的銷售額高達(dá)6 000至8 000億美元。我國(guó)成為全球第二大半導(dǎo)體市場(chǎng)。而光電子是繼微電子技術(shù)之后十年內(nèi)迅速崛起的新興高科技產(chǎn)業(yè)，它是集固體物理、導(dǎo)波光學(xué)、材料力學(xué)、微細(xì)加工和微電子技術(shù)為一體，是微電子技術(shù)和光電子技術(shù)的結(jié)合和擴(kuò)展，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的參數(shù)，原材料的純度以及生產(chǎn)設(shè)備和技術(shù)都等同甚至超過(guò)大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)要求。2010年以光電子產(chǎn)業(yè)為代表的信息產(chǎn)品的總產(chǎn)值突破50 000億美元。

    我國(guó)在微電子產(chǎn)業(yè)方面，“八·五”、“九·五”“十五”期間發(fā)展很快，超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線相繼建成投產(chǎn)。在光電子產(chǎn)業(yè)方面已成為我國(guó)光電子產(chǎn)業(yè)的新的增長(zhǎng)點(diǎn)。百級(jí)以上高級(jí)別潔凈室在我國(guó)電子工廠中的應(yīng)用已經(jīng)成長(zhǎng)為科技創(chuàng)新和經(jīng)濟(jì)轉(zhuǎn)型的時(shí)代要求,要把其上升到民族工業(yè)振興和民族復(fù)興的政治高度來(lái)認(rèn)識(shí)。

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